汕大工学院王双喜教授课题组在面向5G的集成电路用高纯陶瓷基板研究领域取得新进展

发布时间: 2023-04-04 14:18:56 浏览次数 : 724 来源:汕头大学

近日，汕头大学工学院研究生黎达在中科院1区SCI期刊《Applied Surface Science》上以“ Surface modification of alumina nanoparticles and its application in tape casting of micro-nano green tape”为题发表相关研究成果。通过接枝改性纳米氧化铝粉体，流延浆料中纳米粉体的含量提升至陶瓷相的45vol%，在99.6%高纯陶瓷基板制备的卡脖子领域实现技术突破。

高纯陶瓷基板是5G技术下大功率集成电路、新能源IGBT、三代半导体、卫星等领域的关键器件。纳米粉体可以显著降低陶瓷材料的烧结温度，用于流延陶瓷基板，可以有效控制基板显微组织和电学性能。但由于纳米颗粒具有较大的比表面积以及高表面活性，纳米粉体容易聚团，导致浆料流动性急剧下降，制约了纳米粉体在流延成型技术中的大量应用。改性氧化铝纳米颗粒技术使得流延陶瓷浆料稳定性大幅提高，静置12天后浆料的沉降率仅为4%，浆料中纳米粉体的含量提升至陶瓷相的45vol%，制备的流延陶瓷生坯表面光滑无缺陷。黎达同学作为第一发明人刚刚获得相关发明专利授权。

近年来，王双喜教授课题组已经研发出一系列陶瓷生带、超薄高纯陶瓷片、复合陶瓷基板、导热电磁屏蔽基板、燃料电池薄膜等，具有纳米粉体改性——高纯浆料配方——流延生带制备——陶瓷基板烧结—基板表面处理的全套自主技术和知识产权，已经授权发明专利17件、实用新型3件，发表学术论文12篇。

该论文第一作者黎达为汕头大学工学院研究生，通讯作者为王双喜教授。该工作得到广东省教育厅创新强校基金重点领域专项、广东省高校科技成果转化基金的资助。

论文链接：https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2023.15696

(工学院)

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